course-details-portlet

TFE4167 - Mikro- og nanofabrikasjon

Om emnet

Vurderingsordning

Vurderingsordning: Skriftlig skoleeksamen
Karakter: Bokstavkarakterer

Vurdering Vekting Varighet Delkarakter Hjelpemidler
Skriftlig skoleeksamen 100/100 4 timer C

Faglig innhold

Emnet gir en innføring i mikro- og nanofabrikasjon, inkludert silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Det blir gitt grundig innføring i utvalgte deler av halvlederprosessering i renrom, som fotolitografi, etsing og metallisering. Grunnleggende mekanikk for design av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, elektrostatisk og termisk, vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer, slik som trykksensorer og akselerometre, vil gjennomgås i detalj.

Læringsutbytte

Kunnskaper: Kandidaten har: - inngående kunnskaper om utvalgte deler av teknologiske prosesser og utstyr for fremstilling av halvlederkomponenter og integrerte kretser, samt de ulike fabrikasjonsprosessene for produksjon av MEMS - kunnskaper om grunnleggende egenskaper og anvendelser av mikrosystem-teknologi - kunnskaper om generelle karakteristika for sensorer og aktuatorer - inngående kunnskaper om funksjonsprinsipper og oppbygging av ulike typer mikro-elektromekaniske sensorer og aktuatorer - kunnskaper om de viktigste avveiningene og grunnprinsippene for design og optimalisering av MEMS. Ferdigheter: Kandidaten kan: - gjøre fotolitografi og enkel prosessering av halvledere i renrom, samt gjøre karakterisering med utvalgte teknikker - benytte ervervet kunnskap til å foreslå valg av egnet sensor- eller aktuatorprinsipp for å oppnå en bestemt funksjon - benytte ervervet kunnskap til å velge optimalt sensor- eller aktuatordesign - gjennomføre enkle beregninger av elektromekaniske egenskaper for mikroelektromekaniske komponenter - benytte ervervet kunnskap til å foreslå egnet prosess for framstilling av en spesifikk mikro-elektromekanisk komponent. Generell kompetanse: Kandidaten har: - nødvendig kunnskap for videre studier av virkemåte og teknologi for fremstilling av avanserte halvlederbaserte elektroniske komponenter, samt elektronisk krets- og systemdesign. - nødvendig kunnskap for å kunne sette mikrosystemteknologi i sammenheng med viktige utviklingstrekk innen informasjonsteknologi.

Læringsformer og aktiviteter

Forelesninger, regneøvinger, og laboratorieøvinger i renrom og karakteriseringslab.

Obligatoriske aktiviteter

  • Regneøvinger
  • Laboratorieøvinger

Mer om vurdering

Skriftlig eksamen vil bli gitt bare på engelsk. Ved utsatt eksamen (kontinuasjonseksamen) i august kan skriftlig eksamen bli endret til muntlig eksamen.

Kursmateriell

Oppgis ved undervisningsstart

Studiepoengreduksjon

Emnekode Reduksjon Fra Til
TFE4180 3.7 HØST 2018
TFE4177 3.7 HØST 2018
TFE4225 3.7 HØST 2018
TFE4162 3.7 HØST 2018
FE8130 3.7 HØST 2018
TFE4168 3.7 HØST 2019
Flere sider om emnet

Ingen

Fakta om emnet

Versjon: 1
Studiepoeng:  7.5 SP
Studienivå: Høyere grads nivå

Undervisning

Termin nr.: 1
Undervises:  VÅR 2025

Undervisningsspråk: Engelsk

Sted: Trondheim

Fagområde(r)
  • Elektronikk
  • Elektronikk og telekommunikasjon
  • Materialteknologi og elektrokjemi
  • Material- og faststoffysikk
  • Faste stoffers fysikk
  • Fysikalsk elektronikk
  • Teknologiske fag
Kontaktinformasjon
Emneansvarlig/koordinator: Faglærer(e):

Ansvarlig enhet
Institutt for elektroniske systemer

Timeplan

Listevisning
Kalendervisning

Eksamensinfo

Vurderingsordning: Skriftlig skoleeksamen

Termin Statuskode Vurdering Vekting Hjelpemidler Dato Tid Eksamens- system Rom *
Vår ORD Skriftlig skoleeksamen 100/100 C INSPERA
Rom Bygning Antall kandidater
Sommer UTS Skriftlig skoleeksamen 100/100 C INSPERA
Rom Bygning Antall kandidater
  • * Skriftlig eksamen plasseres på rom 3 dager før eksamensdato. Hvis mer enn ett rom er oppgitt, finner du ditt rom på Studentweb.
Eksamensinfo

For mer info om oppmelding til og gjennomføring av eksamen, se "Innsida - Eksamen"

Mer om eksamen ved NTNU