Emne - Mikro- og nanofabrikasjon - TFE4167
TFE4167 - Mikro- og nanofabrikasjon
Om emnet
Vurderingsordning
Vurderingsordning: Skriftlig skoleeksamen
Karakter: Bokstavkarakterer
| Vurdering | Vekting | Varighet | Delkarakter | Hjelpemidler |
|---|---|---|---|---|
| Skriftlig skoleeksamen | 100/100 | 4 timer | C |
Faglig innhold
Emnet gir en innføring i mikro- og nanofabrikasjon, inkludert silisium teknologi for framstilling av sensorer og aktuatorer. Det blir gitt grundig innføring i utvalgte deler av halvlederprosessering i renrom, som fotolitografi, etsing og metallisering. Grunnleggende mekanikk for design av mikroelektromekaniske systemer (MEMS) vil behandles. Ulike sensor- og aktuatorprinsipper, slik som piezoresistivt, kapasitivt, elektrostatisk og termisk, vil gjennomgås. Design og framstilling av ulike typer sensorer, slik som trykksensorer og akselerometre, vil gjennomgås i detalj.
Læringsutbytte
Kunnskaper: Kandidaten har: - inngående kunnskaper om utvalgte deler av teknologiske prosesser og utstyr for fremstilling av halvlederkomponenter og integrerte kretser, samt de ulike fabrikasjonsprosessene for produksjon av MEMS - kunnskaper om grunnleggende egenskaper og anvendelser av mikrosystem-teknologi - kunnskaper om generelle karakteristika for sensorer og aktuatorer - inngående kunnskaper om funksjonsprinsipper og oppbygging av ulike typer mikro-elektromekaniske sensorer og aktuatorer - kunnskaper om de viktigste avveiningene og grunnprinsippene for design og optimalisering av MEMS. Ferdigheter: Kandidaten kan: - gjøre fotolitografi og enkel prosessering av halvledere i renrom, samt gjøre karakterisering med utvalgte teknikker - benytte ervervet kunnskap til å foreslå valg av egnet sensor- eller aktuatorprinsipp for å oppnå en bestemt funksjon - benytte ervervet kunnskap til å velge optimalt sensor- eller aktuatordesign - gjennomføre enkle beregninger av elektromekaniske egenskaper for mikroelektromekaniske komponenter - benytte ervervet kunnskap til å foreslå egnet prosess for framstilling av en spesifikk mikro-elektromekanisk komponent. Generell kompetanse: Kandidaten har: - nødvendig kunnskap for videre studier av virkemåte og teknologi for fremstilling av avanserte halvlederbaserte elektroniske komponenter, samt elektronisk krets- og systemdesign. - nødvendig kunnskap for å kunne sette mikrosystemteknologi i sammenheng med viktige utviklingstrekk innen informasjonsteknologi.
Læringsformer og aktiviteter
Forelesninger, regneøvinger, og laboratorieøvinger i renrom og karakteriseringslab.
Obligatoriske aktiviteter
- Regneøvinger
- Laboratorieøvinger
Mer om vurdering
Skriftlig eksamen vil bli gitt bare på engelsk. Ved utsatt eksamen (kontinuasjonseksamen) i august kan skriftlig eksamen bli endret til muntlig eksamen.
Spesielle vilkår
Krever opptak til studieprogram:
Electronic Systems Design (MSELSYS)
Elektronisk systemdesign og innovasjon (MTELSYS)
Nanoteknologi (MTNANO)
Anbefalte forkunnskaper
TFE4146 Halvlederkomponenter eller tilsvarende. TFY4220 Faste stoffers fysikk eller tilsvarende. TMT4110 Kjemi eller tilsvarende. TMT4185 Materialteknologi eller tilsvarende.
Kursmateriell
Oppgis ved undervisningsstart
Studiepoengreduksjon
| Emnekode | Reduksjon | Fra | Til |
|---|---|---|---|
| TFE4180 | 3.7 | HØST 2018 | |
| TFE4177 | 3.7 | HØST 2018 | |
| TFE4225 | 3.7 | HØST 2018 | |
| TFE4162 | 3.7 | HØST 2018 | |
| FE8130 | 3.7 | HØST 2018 | |
| TFE4168 | 3.7 | HØST 2019 |
Ingen
Versjon: 1
Studiepoeng:
7.5 SP
Studienivå: Høyere grads nivå
Termin nr.: 1
Undervises: VÅR 2025
Undervisningsspråk: Engelsk
Sted: Trondheim
- Elektronikk
- Elektronikk og telekommunikasjon
- Materialteknologi og elektrokjemi
- Material- og faststoffysikk
- Faste stoffers fysikk
- Fysikalsk elektronikk
- Teknologiske fag
Eksamensinfo
Vurderingsordning: Skriftlig skoleeksamen
- Termin Statuskode Vurdering Vekting Hjelpemidler Dato Tid Eksamens- system Rom *
- Vår ORD Skriftlig skoleeksamen 100/100 C 24.05.2025 09:00 INSPERA
-
Rom Bygning Antall kandidater SL310 turkis sone Sluppenvegen 14 40 - Sommer UTS Skriftlig skoleeksamen 100/100 C INSPERA
-
Rom Bygning Antall kandidater
- * Skriftlig eksamen plasseres på rom 3 dager før eksamensdato. Hvis mer enn ett rom er oppgitt, finner du ditt rom på Studentweb.
For mer info om oppmelding til og gjennomføring av eksamen, se "Innsida - Eksamen"